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Plasmaindikator

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Ein Plasmaindikator ist ein Hilfsmittel, um einen Plasmaprozess zu detektieren und nachzuweisen. Durch eine optische Veränderung kann die Reinigungswirkung im Niederdruckplasma nachgewiesen werden.

Plasmaindikatoren vor und nach der Behandlung im Niederdruckplasma.

Auf einen Blick ist sichtbar, ob der Plasmaprozess den gewünschten Effekt erreicht hat.

Verwendung[Bearbeiten]

Anwendungen für eine Reinigung oder Aktivierung mit Plasma gibt es in der Industrie sehr viele. Die Plasmabehandlung ist in den meisten Fällen nicht sichtbar und um Prozesse einfach optisch kontrollieren zu können, werden Indikatoren eingesetzt.

Mögliche Anwendungen sind:

Der Indikator wird mit in die Anlage gegeben. Er sollte z. B. auf dem Warenträger platziert werden.

Funktion[Bearbeiten]

Um die Wirkung des Plasmas nachweisen zu können, macht man sich die chemische Reaktion von Kohlenstoff im Plasma zu Nutze. Auf ein Substrat wird eine definierte Kohlenstoffschicht aufgebracht, welche im Sauerstoff-Plasma vollständig zu Kohlenstoffdioxid reagiert. Zurück bleibt das reine Substrat. Durch unterschiedliche Schichtdicken des Kohlenstoffpolymers kann man unterschiedlich lange Prozesse detektieren.

Reaktion in der Kammer:

Weblinks[Bearbeiten]


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