Vistec Electron Beam
| Vistec Electron Beam | |
|---|---|
| Rechtsform | GmbH |
| Sitz | Jena |
| Mitarbeiterzahl | 101[1] |
| Branche | Maschinenbauer für die Halbleiterindustrie |
| 🌐Website | www.vistec-semi.com |
Die Vistec Electron Beam GmbH ist ein deutscher, weltweit agierender Hersteller von Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen, die sowohl in der Halbleiterindustrie, in der Mikro– und Nanooptik als auch in der angewandten Forschung für vielfältige Anwendungen im Bereich der Mikro– und Nanostrukturierung zum Einsatz kommen. Die Elektronenstrahl-Belichtungsanlagen von Vistec beruhen auf dem sogenannten Variablen Formstrahl Prinzip (VSB – Variable Shaped Beam), einem elektronen-optischen Abbildungsverfahren, bei dem in Form und Größe variable Elektronenstrahl-Formate mit homogener Intensitätsverteilung in die Strukturierungsebene abgebildet werden.
Das Unternehmen ging ursprünglich aus der Halbleitergeräteabteilung der Leica Microsystems AG hervor, die 2005 von der privaten Investorengruppe Golden Gate Capital (San Francisco) gekauft und 2006 in Vistec Semiconductor Systems mit Sitz in Weilburg im Landkreis Limburg-Weilburg (Hessen) umbenannt wurde. Zu den Produkten gehören Makrodefektdetektionssysteme, Defektreview- und Defektklassifikationssysteme, Systeme zur Messung der Lagegenauigkeit von Strukturen auf Fotomasken sowie Mikroskope und OEM-Module für Elektronik- und Halbleiterproduzenten und Forschungsinstitute.[2] Vistec erreichte den zweiten Platz bei der Auszeichnung Hessen-Champions 2007 Weltmarktführer[3], die vom Hessischen Ministerium für Wirtschaft, Verkehr und Landesentwicklung und der Vereinigung der hessischen Unternehmerverbände (VhU) verliehen wurde.
Die Geschäftseinheit Microelectronic Inspection Equipment (MIE) wurde zum vierten Quartal 2008 von KLA-Tencor, einem US-amerikanischen Anbieter von Testgeräten für die Halbleiterbranche, übernommen und als KLA-Tencor MIE weiterhin in Weilburg beheimatet. Nicht mitveräußert wurden die Geschäftsbereiche „Electron Beam“ und „Lithography“, die weiterhin in Deutschland am Standort Jena als Vistec Electron Beam GmbH durch Golden Gate Capital geführt wird.
Weblinks[Bearbeiten]
- Literatur von und über Vistec Electron Beam in der bibliografischen Datenbank WorldCat
- Vistec Electron Beam GmbH, silicon-saxony.de
- Vistec Electron Beam GmbH, wer-zu-wem.de
Einzelnachweise[Bearbeiten]
- ↑ Vistec Electron Beam GmbH, Jena, Jahresabschluss zum Geschäftsjahr vom 01.01.2021 bis zum 31.12.2021 im Bundesanzeiger
- ↑ Hessen-Champions 2007 (Memento vom 6. Mai 2010 im Internet Archive), Sonderveröffentlichung der RheinMainMedia, 28. Oktober 2007, S. 6.
- ↑ Vistec Semiconductor Systems GmbH. Hessisches Ministerium für Wirtschaft, Energie, Verkehr und Wohnen, abgerufen am 21. März 2022.
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